클린룸의 특성 및 설계 시 유의 사항

클린룸이란 먼지가 전혀 없는 방 또는 청정실이라고도 합니다. 초고밀도 집적회로나 유전자 조작등과 같이 세포 속의 미소한 유전자들 다루는 곳에서는 환경조건이 품질에 큰 영향을 끼친다. 이러한 곳에서는 환경조건의 하나로 먼지의 유무가 문제되는데 눈에  보이지 않을정도의 미세한 것도 존재해서는 안된다. 따라서 외부로부터 먼지가 들어오지 않도록 방을 격리시키거나, 방안으로 들어오는 사람의 먼지를 문 밖에서 떨어내거나, 방안에 있는 사람에게 먼지가 나지 않는 특수복을 입히거나, 필수적으로 방안의 먼지를 없애는 장치를 설비해야 한다.

 

 

클린룸

 

 

1. 클린룸의 6대 원칙

• 미립자의 발생물 제거
• 미립자의 회수율 방지
• 미립자의 침입 방지
• 미립자의 누적 방지
• 필요한 온도, 습도 및 실내압 유지
• 청정한 공기송풍

 

2. 클린룸의 Class별 표준적 순환 풍량

단위 시간당 환기 순환 회수는 클린룸의 청정도 수준에 따라 아래와 같습니다.

청정도	환기 회수 (회/h)
Class 100	200 ~ 600
Class 1000	-
Class 10000	30 ~ 40
Class 100000	-

3. 클린룸의 각 실간의 필요 압력차

클린룸 내부의 각 실간 필요한 압력 차는 아래표와 같습니다.

Room	압력차 (mmAq)
청정도 Class가 다른 Clean room	0.5
클린룸과 클린룸 복도, Smock룸 등	0.5 ~ 1.0
클린룸 복도, Smock 룸 등과 일반식 복도	1.0
클린룸과 일반실	1.5

 

4. Clean class란?

1입방 피트(1 cubic feet, 1ft^3, CFT)의 공기 중에 포함된 0.5um 이상의 크기의 최대허용 입자수에 따라 결정되는 청정도 레벨을 의미한다. 예를 들어 Class 100은 1 cubic feet 공기 중에 0.5um 이상의 입자가 100개 이하인 청정공간을 말한다.

※ 1ft = 30.48 cm

 

5. 클린룸 설계 시 유의사항

환경에 따라 클린룸의 설계 시 아래와 같은 사항을 고려해야 한다.

항목	유의사항
기류 방식 (Patterns of Air Flow)	층류식(수직, 수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있고 각각의 특징을 가지며, 사용목적을 고려하여 결정한다.
청정도 (Cleanness Level)	클린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정된다. 청정도 레벨은 기류방식, 환기횟수, 실내압력 등을 충분히 검토함으로써 달성된다.
계획 (Lay-out)	작업성을 고려하여 또한 청정도를 만족하도록 레이아웃을 결정한다. 먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리한다. 또 사람, 물건의 출입구, 통로 Utility, 유지 보수 등을 종합적으로 검토하는 것이 필요하다.
유틸리티 (Utility)	급/배수, 가스, 전기 등 에너지 공급을 위한 장치는 기류방식, layout의 flexibility를 고려하여 결정한다. 또 유지 보수 시에 청정도 저하를 초래하지 않도록 주의할 필요가 있다.
안전대책과 비상설치 (Safety & Emergency plan)	클린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설 등에 대한 최대 대책이 필요하다. 또 정전에 의해 문제가 되는 장치는 비상전원설비를 갖추는 것을 검토할 필요가 있다.